应用于工业的紫外线波长154nm-254nm，波长越短能量越大，254nm以下波长的紫外线能够裂解O2，产生O3，大于254nm波长基本不能裂解O2，由于154nm-185nm的波长相对比较短所以“杀伤”的空间范围也较小。而185nm-254nm尽管波长较长但是杀伤空间范围相对较大。
光解氧化除臭设备，采用NBL标准优质紫外线灯，产生高强紫外线，其中154nm-185nm波长在系列光谱中使占比例高达14%，紫外线剂量大于45mw/cm2，光子能量大于1000kJ/mol，是当前工业UV/O3紫外灯中剂量和能量最大的紫外线，迅速氧化键能小于380kJ/mol（常见化学键的键能和键长见下表）的污染物，紫外线光解氧气产生臭氧，臭氧浓度按照1.8Kg/h配置，设计臭氧浓度200mg/m3，臭氧能快速氧化金属性较强的污染物，臭氧量可根据污染物的浓度以及后续反应时间设定。
废气的光解氧化机理包括两个过程：一是在产生高能离子群体的过程中，一定数量的有害气体分子受高能作用，本身分解成单质或转化为无害物质。二是含有大量高能粒子和高活性的自由基的离子群体，与大分子气体（如苯、甲苯等）作用，打开了其分子内部的化学键，转化为无害的小分子物质。新生态的氧离子具有很强的氧化性，它能有效的氧化分解不受负离子作用控制的有机物。和废气反应后多余的氧离子（正），能与氧离子（负）很快结合成中性氧，因而不会更多地对设备及环境造成不利影响。三大量研究表明活性氧在紫外线的作用下能加速氧化速度，提高氧化效率。
无极灯没有电极，完全避免了由于电极氧化性老化导致的安全性问题，同时极大提高了紫外灯的使用寿命，克服了设备加工中电极绝缘和密封所带来的结构问题。无电极设计最大的优点还在于它的形状任意性和放置的随意性，能最大限度保证废气净化工程调试的需要，避免设备结构固定造成的机械破坏。微波场的热效应除了提高系统的氧化速度外，它的非热效应在光解过程中作用更加突出，微波场虽然不能使分子离子化，但是它能以亿倍的速度提高离子化的分子的运动速度，极大提升光子的撞击能量，达到雪崩式裂解污染物的作用。
经过长期的研究发生，当化学物质通过吸收能量（热能、光子能量、电离），可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键能，即可使化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。在波长范围154nm-184.9nm（1200KJ/mol-600KJ/mol）高能紫外线的作用下，一方面空气中的氧被裂解，然后组合产生臭氧；另一方面将污染物化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使废气最终被裂解，氧化成简单的稳定的化合物CO2、H2O、N2，一系列过程的可能性决定于：
（1）污染物分子能否被裂解，取决于其化学键能是否比所提供的UV光子能力低？
（2）裂解反应的时间是否足够1S，氧化反应的时间是否达到5-8S；
（3）UV光解的环境是否稳定、高效，需要反应温度＜70°，粉尘量＜200mg/m3,
相对温度＜200%。
（4）污染物中某些特殊化学元素的含量是否过高（如CL、F）；
常见化学键的键能和键长
|
化学键 |
键长 |
键能KJ/mol |
|
O-O |
148 |
146 |
|
N-O |
146 |
230 |
|
S-S |
207 |
268 |
|
C-S |
182 |
272 |
|
C-O |
143 |
326 |
|
C-C |
154 |
332 |
|
S-H |
135 |
339 |
|
N-H |
101 |
389 |
|
C-H |
109 |
414 |
|
H-CL |
127 |
431 |
|
O-H |
98 |
464 |
|
O=O |
120 |
498 |
|
C=S |
|
577 |
|
N=O |
114 |
607 |
|
C=C |
134 |
611 |
|
C=O |
120 |
728 |
